油(you)擴散泵(bèng)抽氣系(xì)統的*缺(quē)點是油(yóu)蒸汽的(de)污染。
系(xì)統中污(wū)染物的(de)主要來(lai)源如下(xià)：
(1)擴散泵(beng)油蒸汽(qì)的返流(liú)。這是最(zui)重大的(de)污染源(yuán)。
(2)系統中(zhōng)的零部(bu)件，在裝(zhuang)配時用(yong)有油的(de)手拿。用(yong)有油污(wu)的手套(tào)拿，這樣(yàng)粘染的(de)有機分(fèn)子可以(yi)造成系(xì)統内的(de)污染。
(3)前(qián)級油封(fēng)機械泵(bèng)油的返(fan)流。這個(ge)問題也(yě)很嚴重(zhong)，當入口(kou)壓力較(jiao)高時，在(zai)達到過(guo)渡區(1～10-1Pa)壓(yā)力時，機(jī)械泵的(de)油蒸汽(qi)即可直(zhi)接進入(ru)擴散泵(bèng)内，對系(xi)統直接(jiē)進行污(wu)染。很多(duo)真空工(gōng)藝過程(chéng)的污染(rǎn)來自機(ji)械泵返(fan)油。當停(ting)機械泵(beng)時如不(bú)及時向(xiàng)泵内放(fàng)大氣，機(ji)械泵油(you)可直接(jiē)返到擴(kuo)散泵油(you)鍋内。當(dang)擴散泵(bèng)起動時(shí)對系統(tǒng)的污染(rǎn)更為嚴(yán)重。
(4)抽氣(qi)系統中(zhong)密封材(cai)料的放(fang)氣造成(cheng)的污染(ran)。特别是(shì)人造橡(xiàng)膠密封(feng)圈，密封(fēng)油脂，潤(run)滑油等(deng)，也同樣(yang)造成嚴(yan)重的污(wu)染。
(5)當停(tíng)泵後放(fàng)大氣時(shí)，使真空(kong)零部件(jian)在空氣(qi)中粘污(wu)上水蒸(zhēng)汽，油煙(yān)等，造成(chéng)對真空(kong)系統的(de)污染。
消(xiāo)除系統(tong)油蒸氣(qì)返流的(de)具體措(cuò)施為：
(1)加(jia)大擴散(sàn)泵的啟(qǐ)動功率(lǜ)來縮短(duǎn)機械泵(beng)與擴散(san)泵切換(huan)時的壓(ya)力過渡(du)區。
(2)通過(guò)改變系(xi)統操作(zuo)工藝和(hé)用閥門(mén)來避開(kai)返流危(wēi)險區（切(qie)換過渡(dù)區）。例如(rú)，可使一(yi)個按照(zhào)預定速(su)度開啟(qǐ)的高真(zhēn)空閥，逐(zhú)漸地開(kai)啟它，保(bao)證進入(ru)擴散泵(beng)的氣體(tǐ)流量低(dī)于它的(de)*排氣量(liang)，并且又(you)使機械(xiè)泵抽速(su)保證擴(kuò)散泵前(qian)級壓力(li)，以使擴(kuo)散泵能(néng)樹立工(gōng)作。這樣(yàng)就能避(bi)開過渡(du)區的出(chū)現。
(3)改善(shan)操作工(gong)藝，将擴(kuò)散泵的(de)加熱功(gong)率調至(zhi)*功率，避(bì)免出現(xian)泵油爆(bao)沸現象(xiàng)；一般擴(kuo)散泵在(zài)加熱開(kāi)始和關(guan)閉過程(cheng)中，返流(liu)将出現(xiàn)峰值，所(suǒ)以可用(yong)泵口處(chu)的高真(zhēn)空閥門(men)來控制(zhì)避免返(fǎn)流。
(4)在擴(kuò)散泵入(rù)口處加(jiā)裝液氫(qīng)冷阱或(huo)吸附阱(jǐng)來捕集(ji)返流油(you)蒸氣。
(5)選(xuǎn)用*的擴(kuo)散泵工(gōng)作液。